激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特別適合於精密加（jiā）工。按照加工材料（liào）的尺（chǐ）寸大小和加（jiā）工的精度（dù）要求，將目前的激（jī）光加工技術分為（wéi）三個層次：
（1）大型件材料激光加工（gōng）技術（shù），以（yǐ）厚板（數毫米至幾十毫米）為主要對象，其加工精度一般在毫米或者亞毫米級；
（2）精密激（jī）光加工技術（shù），以（yǐ）薄板（0．1～1．0 mm）為主要加工對象，其加（jiā）工精度一般在十微米級；
（3）激光微細加（jiā）工技術，針對厚度在（zài）100μm以下的各種薄膜為主要加工對象，其加工精度一般在十微米以（yǐ）下甚至亞微米級。
在（zài）機（jī）械（xiè）行業中，精密通（tōng）常是指（zhǐ）表麵粗糙度小、各種公差（包括位置（zhì）、形狀、尺寸等）範圍小。這裏（lǐ）所（suǒ）說的“精密”，是指被加工區域的縫隙（xì）小，就是說加（jiā）工所能達到的極限尺寸小。
在上述三類激光加（jiā）工中，大型（xíng）件的激光加工技（jì）術已經日趨成熟（shú），產（chǎn）業化的程度已經非常高；激光微細加工（gōng）技術如激光微調、激光精密刻（kè）蝕、激光直寫技術等也已在工業上得到了（le）較為廣泛的應用。
